Grafīta izstrādājumu pielietošana monokristāliskajā un polikristāliskajā silīcija rūpniecībā

1. grafīta produktu ieviešana

Pateicoties savai īpašai struktūrai, grafīta produktiem ir daudzas īpašības, piemēram, izturība pret augstu temperatūru, siltuma triecienizturība, elektriskā vadītspēja, eļļošana, ķīmiskā stabilitāte un plastiskums. Grafīta produktiem, piemēram, grafīta gredzeniem un grafīta laivām, ir plašs pielietojums. Starptautiskie eksperti kādreiz paredzēja, ka "20. gadsimts būs silīcija gadsimts, un 21. gadsimts būs oglekļa gadsimts".

2. izprast grafīta produktu pielietošanu monokristāliskajā un polikristāliskajā silīcija rūpniecībā

Pusvadītāju attīstība ir neatdalāma no grafīta materiālu pielietošanas pusvadītāju rūpniecībā. Pusvadītāju rūpniecībā vienkristāla krāsnu apkures sistēmā izmanto lielu skaitu augstas tīrības pakāpes grafīta materiālu. Pusvadītāju vafeļu apstrādē (ieskaitot zonu kausēšanu, epitaksiju, kontūru apstrādi u. c.) grafīta materiāli ir palīginstrumenti un detaļas, un pusvadītāju silīcija plāksnes, ko izmanto polisilikona materiālu ražošanā, tiek izmantotas kā palīginstrumenti un detaļas. Grafīta produkti, ko izmanto elektroniskajā inženierijā, piemēramLiels grafīta bloks, Vispirms jāpiemēro pusvadītāju nozarē. Ienākot 21. gadsimtā, fotoelementu rūpniecība ir strauji attīstījusies, un saules šūnām izmantojamo polikristālisko silīcija stieņa materiālu ražošana un tirgus ir piedzīvojuši strauju izaugsmi.

Grafita produktu daļas, ko izmanto czochralski vienkristāla krāsns, piemēram,Izostātiskais grafīta bloksIr patēriņa detaļas, kas tiek apstrādātas no dažādiem augstas tīrības grafitiem. Grafīta daļas, piemēram, grafīta tīģeļiem, izmanto augstas tīrības pakāpes smalkās struktūras grafītu; grafīta sildītāji izmanto augstas tīrības pakāpes izotropisko grafītu; grafīta izolācijas vāku un grafīta vāku izmanto augstas tīrības grafita daļiņu struktūru. Polikristālisko silīcija stieņu vienību ražošanā ir vairāki komponenti, kuriem vajadzīgs grafīta materiāls. Jo īpaši, apkures materiāls, ko izmanto stieņa krāsns sildītājs-augstas tīrības pakāpes grafīts, un siltumizolācijas materiāls-augstas tīrības oglekļa juta izolācijas materiāls, ir nepieciešami un svarīgi atbalsta materiāli polisilikona stieņa iekārtas.

Sakarā ar augsto sildīšanas temperatūru stieņa krāsns sildītājs (virs 1600 ° c), apkures materiāls nevar reaģēt ar silīcija materiālu un nepiesārņo silīcija materiālu, un jāizmanto vakuumā un inertā gāzē. Ilgu laiku. Sildītāji balstās uz lietošanas apstākļiem, piemēram, metāla volframa, molibdēna un nemetāla grafīta. Tomēr volframs un molibdēns ir dārgi un grūti apstrādāt, un grafīts var pārstrādāt dažādās formās grafīta izstrādājumiem. Turklāt grafītam ir arī nelielas siltuma inerces, ātra apkure, izturība pret augstu temperatūru, siltuma triecienizturība, liela radiācijas zona, augsta apkures efektivitāte un stabila veiktspēja. Šī iemesla dēļ grafīta materiāls ir kļuvis par vēlamo sildīšanas materiālu ingotu krāsns sildītāji.