Izostātiskais grafīta bloks, ko izmanto siltuma lauka sistēmām pusvadītāju un fotoelementu rūpniecībā kristāliskā silīcija ražošanā

Pusvadītāju rūpniecībā izostātiskie grafīta bloki piemīt laba izotropija, lieliska siltuma vadītspēja, laba izturība pret termisko triecienu, augsta izturība pret liekšanu un saspiešanu, un var efektīvi samazināt iekšējo stresu, ko rada pēkšņas temperatūras izmaiņas, tādējādi pagarinot iekārtas un ierīču dzīves ilgumu. Tāpēc tie tiek izmantoti silīcija kristāla augšanas iekārtu grafīta komponentu dziļai apstrādei pusvadītāju un saules fotoelementu elektroenerģijas ražošanas jomās. Ar strauju attīstību fotoelementu rūpniecībā, monokristāliskā silīcija silīcija siltumlauka izmērs ir pieaudzis no 24 collas uz 36 collas, un grafita siltuma lauka komponentu izmērs ir attiecīgi palielinājies, ar tehniskajām prasībām pastāvīgi uzlabojas, jo īpaši prasa augstas tīrības grafīta.

1. izostātiskie grafīta bloki siltuma lauka sistēmām

Tiešās zīmēšanas monokristāliskā silīcija silīcija silīcija silīcija, izostātiskie grafīta bloka komponenti ietver apmēram 30 tiķus, sildītāji, elektrodi, siltumizolācijas ekranēšanas plāksnes, sēklu kristāla skavas, rotējošas tīģeles pamatplates, dažādas apļveida plāksnes un siltuma atstarošanas plāksnes. Starp tiem 80% izostātisko grafīta bloku tiek izmantoti tīģeļu un sildītāju ražošanai. Pēdējos gados monokristālisko silīcija stieņu diametra prasības ir arvien lielākas, ar 300mm mikroshēmu ražošanu kļūst mainstream, un attiecīgi, monokristāliskā krāsns apkures zonas diametrs pārsvarā ir 800mm. Grafīta tīģelis krāsnī sasniedza 860mm diametru, lai aizsargātu izvietoto kvarca tīģeli, sildītāja diametrs bija apmēram 960-1000mm, un dažu citu komponentu diametrs sasniedza maksimāli 1500mm. Daudzkristālisko silīcija plāksnes saules šūnām ražošanas procesā pirmais solis ir daudzkristālisko silīcija fragmentu izkausēšana daudzkristāliskos silīcija stieņos, un stieņa liešanas krāsns sildītājs ir izgatavots no izostātiskiem grafīta blokiem.

2. izostātisko grafīta bloku izmantošana

1. monokristālais vilkšanas krāsns siltuma lauka sistēma.Monokristāliskā vilkšanas krāsns siltuma lauka sistēma galvenokārt tiek izmantota monokristāliskā silīcija izaugsmes un vilkšanas procesos fotoelementu un pusvadītāju rūpniecībā, un tā ir galvenā aprīkojums monokristāliskā silīcija sagatavošanai. Fotovoltājiskais silīcija monokristālisks ražošanas process attīstījās no pusvadītāja silīcija monokristāliska, un abiem ir tāds pats ietvars, kas attiecas uz iekārtu, procesu un siltuma lauka sistēmu, ar galveno atšķirību ir silīcija monokristāla produkta tīrība un siltuma lauka materiālu tīrības prasības. Pusvadītāju silīcija monokristālu tīrības prasības ir lielākas par 99,99%, savukārt fotoelementu silīcija monokristāliem ir pietiekama tīrība, kas augstāka par 99,99%; attiecībā uz prasībām par pelnu saturu siltuma lauka materiālos, fotovoltaiskie p-tipa monokristāli prasa <200ppm, n-tipa monokristāli prasa <100ppm, pusvadītāju silīcija monokristāli-<30ppm.

2. polikristāliska stieņa krāsns siltuma lauka sistēma.Polikristāliskā stieņa krāsns siltuma lauka sistēma ir galvenā iekārta polikristāliskai stieņa liešanai fotoelementu rūpniecībā, galvenokārt ieskaitot augšējās plāksnes, apkures ķermeņus, vāka plāksnes, aizsargplāksnes un citas sastāvdaļas.